למה עברנו לשימוש בחימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום בחדרי הניקיון הקיצוניים
כאשר עובדים במפעלי שבבים, “ניקיון” אינו רק מטרה – זהו הדבר החשוב ביותר. אי אפשר שיהיה שם אפילו גרגיר אבק או שאריות קטנות שעלולות לפגוע בוואפר.
במשך זמן רב, השיטה הנפוצה הייתה שימוש בתנורי חימום. אך הבעיה היא שתנורים אלו פשוט מחממים את האוויר סביב הוואפר. האוויר הזה נושא איתו חלקיקים, וכמות החשמל הנדרשת כדי לחמם תיבת מתכת גדולה היא אדירה.
לכן עברנו לשימוש בחימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום. במקום לחמם את האוויר, קרינת האינפרא-אדום שולחת אנרגיה ישירות אל החומר שעליו עובדים.
איך זה עובד בפועל
דמיינו שאתם עומדים בשמש ביום קר. אתם לא מרגישים קודם את האוויר שנעשה חם – אתם מרגישים את החום שפוגע בעורכם מיד. זה בדיוק מה שקורה כאן: הקרינה פוגעת בחומר, גורמת למולקולות לרטוט, וכך נוצר חום מיד.
זה מהיר מאוד.
מכיוון שאנו לא מחממים את האוויר סביב הוואפר, אין לנו צורך לדאוג כל כך לזיהום הדדי. בנוסף, זה גם טוב יותר לסביבה. ויתרנו על המערכות הישנות שהשתמשו בדלק, דבר שגרם לפליטת חומרים מזהמים. כך, הבדיקות הסביבתיות נעשות הרבה פחות לחוצות.
האתגרים
בדרך כלל אנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום בעלות גל ארוך או בינוני. אם צריך לייבש חומרים דקות ספורות לאחר השימוש בהם, עדיף להשתמש בנורות בעלות גל ארוך, מכיוון שהן יעילות יותר.
אך צריך להיות זהירים. אם מעלים את ההספק של הנורה בלי לחשוב על כך, עלולים להיווצר “נקודות חמות”, או אפילו לפגוע בחומר. צריך למצוא את האיזון הנכון בין המרחק בין הנורה לוואפר. אנו משתמשים במנווטים PID ובחיישנים מדויקים כדי לשמור על יציבות התהליך, וכך לא לפגוע בחלקים היקרים.
היתרונות העסקיים
היתרון הגדול ביותר? חשבון החשמל. אין צורך לבזבז חשמל על חימום החלל הריק בתוך התיבה – האנרגיה נשמרת דווקא במקום הנכון: על החומר עצמו.
זו החלפה קלה מאוד לעומת השיטות הישנות של חימום אוויר. חוסכים בשטח, עלויות החשמל יורדות, וניתן לעבוד לפי חוקי שרשרת האספקה העולמית, בלי להתעסק בדברים מסובכים.