Usar la imagen térmica de manera eficaz en las herramientas para procesamiento de obleas
Si busca avanzar hacia una fábrica más inteligente, seguramente ya se habrá dado cuenta de que los termómetros tradicionales ya no son adecuados. Son lentos. Y, honestamente, tocar la oblea representa un riesgo innecesario.
Por eso hemos optado por sistemas infrarrojos de alta velocidad. Podemos obtener mapas térmicos en tiempo real, sin necesidad de tocar la superficie de la oblea. Sin contaminación, sin estrés mecánico… solo datos precisos.
Deje de adivinar, comience a ver
La producción digital se basa en el flujo de datos. Conectamos los sensores infrarrojos directamente al sistema PLC o SCADA, convirtiendo así la radiación térmica en señales digitales al instante.
Lo mejor de todo es que ahora puede ver la superficie real de la oblea. Con los termopares, a menudo solo se pueden hacer suposiciones basadas en la temperatura del sustrato o de las paredes de la cámara. Ahora, puede verlo todo directamente. Si algo se mueve en esa superficie de 300 mm, lo sabrá de inmediato y podrá ajustar los elementos de calentamiento al instante.
Solucionando el problema de la “ventana”
Las cámaras de vacío son entornos extremadamente adversos. El mayor problema suele ser el “efecto ventana”: los portales de visualización hechos de cuarzo o zafiro bloquean las señales infrarrojas.
Es frustrante, pero hemos encontrado una solución. Calibramos nuestros sensores para que funcionen en longitudes de onda específicas que permiten pasar a través de esos materiales.
Un consejo: mantenga su camino óptico limpio. Si los residuos de gas se acumulan en la ventana, las lecturas comenzarán a ser imprecisas. Es una solución simple, pero marca la diferencia entre un proceso perfecto y la pérdida de obleas.
El costo-beneficio
Las ventajas son enormes para el diseño de las herramientas. Puede prescindir de esos sensores voluminosos y ganar espacio en la cámara. Pero hay un inconveniente: los sensores infrarrojos de alta resolución generan una gran cantidad de datos.
Si planea utilizar estos sensores en toda su flota de herramientas, asegúrese de que su red pueda manejar tal cantidad de datos. Si hay retrasos en la transmisión de datos, también habrá retrasos en los procesos de control. En la fabricación de chips de alta complejidad, un milisegundo de retraso es algo que no se puede permitir.