Správné využití termovizních systémů ve vašich nástrojích na výrobu čipů
Pokud se snažíte přejít k inteligentnějšímu způsobu výroby, pravděpodobně jste si uvědomili, že staromódní kontaktní teploměry už nestačí. Jsou pomalé. A upřímně řečeno – dotýkat se desky čipu je riziko, které nemusíte podstupovat.
Proto jsme přešli na vysoce rychlé infračervené systémy. Můžeme tak získat aktuální termografické informace bez jakéhokoli kontaktu s povrchem desky čipu. Žádné kontaminace, žádné mechanické napětí – pouze čistá data.
Přestaňte hádat, začněte vidět
Digitální výroba spočívá právě v toku dat. Infračervené senzory připojujeme přímo k vašemu PLC nebo SCADA systému, čímž se tepelná záření okamžitě převádí na digitální signály.
A to je to nejlepší – konečně vidíte skutečný povrch desky čipu. S termoelementy často musíte hádat na základě teploty substrátu nebo stěn komory. Nyní máte přímý pohled na povrch. Pokud se na té 300mm velké ploše něco pohne, okamžitě to poznáte a můžete okamžitě upravit parametry topení.
Řešení problému „okna“
Vakuové komory představují drsné prostředí. Největším problémem je obvykle „efekt okna“ – kdy quartzová nebo safírová okna v podstatě blokují infračervené signály.
Je to frustrující, ale našli jsme způsob, jak to obejít. Kalibrujeme naše senzory tak, aby fungovaly v konkrétních vlnových délkách, které procházejí těmito materiály.
Jen upozornění: udržujte optickou cestu čistou. Pokud se na okně nahromadí rezidua z vypařovaných látek, vaše údaje začnou být nepřesné. Je to jednoduché řešení, ale rozhoduje o tom, zda bude výroba úspěšná, nebo zda přijdete o čipy.
Kompromisy
Výhody jsou obrovské z hlediska návrhu vašich nástrojů. Můžete se zbavit těch objemných sond a ušetřit tak spoustu prostoru v komoře. Vše působí efektivněji.
Ale existuje i jedna nevýhoda. Vysoce citlivé infračervené senzory vytvářejí opravdu hodně dat. Pokud chcete tento systém použít u celé flotily nástrojů, ujistěte se, že váš síťový systém to zvládne. Pokud dojde k zpoždění v přenosu dat, stejně tak se zpozdí i proces řízení teploty. A v výrobě pokročilých čipů je milisekunda zpoždění něčím, co si nemůžete dovolit.