V prostoru určeném k litografii slouží vrstvy z polyimidu k udržení spojů mezi jednotlivými částmi součástek pohromadě. Stačí jeden náhlý změna teploty během zahřívání a všechno je zničeno. Našel jsme řešení v podobě speciálního systému na zahřívání polyimidu, který eliminuje toto riziko.
Co je důležité
Udržujeme rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C po celé době zahřívání – od počátečního zahřívání až po konečné zpracování. Krátkovlnné infračervené prvky zahřívají samotný čip, nikoliv celou komoru, takže počet částic v čisté místnosti zůstává pod hranicí 0,1 na kubický stopu v třídách 1–100. Opakovatelnost je ±0,5 °C mezi jednotlivými cykly, takže každé zahřátí fotoresistu má stejný výsledek jako předchozí.
Ohřívací desky posílené uhlíkovými vlákny umožňují rychlé zahřátí bez vzniku „horkých bodů“. Systém zaznamenává každý cyklus pro úplnou sledovatelnost.
Proč to funguje v praxi
Zpracování polyimidu spočívá v rovnováze mezi tepelnými podmínkami a chemickou stabilitou. Náš systém udržuje teplotu v optimálním rozmezí – žádné nedostatečné zahřátí, které by vedlo k oddělení vrstev během leptání, a žádné nadměrné zahřátí, které by způsobilo uvolňování plynů. Výsledkem je méně oprav, méně odpadu a možnost nepřerušované práce 24/7.
Spotřeba energie klesá, protože systém rychle chladne a zahřívá se, čímž se snižují náklady na energii, aniž by došlo ke zkrácení doby procesu.
Na co je potřeba se připravit
Tato platforma se může integrovat do stávajících linek na nanášení vrstev, ale budete potřebovat speciální napájení o napětí 208 V a třífázové napájení. Vyčleňte čtyři hodiny na zařizování a jeden den na školení operátorů.
Ohřívací desky nemají rády mechanické otřesy během změny nastavení, proto se držte pokynů v návodu. Příliš silné utažení jednoho konektoru může vést ke změně rovnoměrnosti teploty o 0,2 °C.