লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, পলিইমাইড স্তরগুলোই উন্নত ইন্টারকানেক্টগুলোকে একসাথে ধরে রাখে। হার্ড বেক প্রক্রিয়ার সময় যদি তাপমাত্রায় কোনো সমস্যা দেখা দেয়, তাহলে সবকিছু নষ্ট হয়ে যেতে পারে। আমরা এই ঝুঁকি দূর করার জন্য নিজস্ব পলিইমাইড কিউরিং থার্মাল সিস্টেম তৈরি করেছি।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা পুরো বেক প্রক্রিয়া জুড়ে ±0.1°C তাপমাত্রা বজায় রাখি; ফলে ক্লাস 1–100 ক্লাসের ক্লিনরুমে পার্টিকেলের সংখ্যা 0.1 প্রতি ঘনফুটের নিচে থাকে। প্রতিবার ফটোরেজিস্ট বেক করার সময় তাপমাত্রা ±0.5°C এর মধ্যেই থাকে; ফলে প্রতিবারই একই ফলাফল পাওয়া যায়।
কার্বন-ফাইবার-রিইনফোর্সড হিটার প্লেটগুলো দ্রুত তাপ সরবরাহ করে; ফলে কোনো হট স্পট তৈরি হয় না। সিস্টেমটি প্রতিটি চক্র লগ করে রাখে; ফলে সবকিছু নিয়ন্ত্রণ করা যায়।
কেন এটা ব্যবহারিকভাবে কার্যকর?
পলিইমাইড কিউরিংয়ে তাপমাত্রা ও রাসায়নিক স্থিতিশীলতার ভারসাম্য বজায় রাখা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। আমাদের নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা পলিইমাইডের নির্ধারিত তাপমাত্রার মধ্যেই রাখে; ফলে কোনো সমস্যা দেখা দেয় না। এর ফলে পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন কমে যায়, অপচয়ও কমে যায়।
কী পরিকল্পনা করতে হবে?
এই প্ল্যাটফর্মটি বিদ্যমান কোট/ট্র্যাক লাইনগুলোর সাথে সংযুক্ত হয়; কিন্তু এর জন্য ২০৮ ভোল্ট, ৩-ফেজ ফিড এবং ক্লিনরুম-যোগ্য এক্সহাস্ট সিস্টেম দরকার। কমিশনিংয়ের জন্য ৪ ঘণ্টা এবং অপারেটর প্রশিক্ষণের জন্য ১ দিন সময় দরকার।
হিটার প্লেটগুলো চেঞ্জওভারের সময় যান্ত্রিক শক সহ্য করতে পারে না; তাই ম্যানুয়ালে নির্দেশিত প্রক্রিয়া অনুসরণ করা উচিত। একটি ফিক্সার অতিরিক্তভাবে শক্ত করলে তাপমাত্রা 0.2°C পর্যন্ত পরিবর্তিত হতে পারে।